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應(yīng)用于ASML、NIKON、CANON、SMEE等光刻機臺

光刻機對基座有嚴(yán)苛的微振及剛性需求，高精準(zhǔn)度的安裝固定要求。采用高剛性RC結(jié)構(gòu)達到最佳隔振效果，精密加工的特殊結(jié)構(gòu)定位固定件，RC基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹脂進行處理，光潔度滿足潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，剛度滿足光刻機的要求。