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應(yīng)用于PH、MET等區(qū)域工藝機(jī)臺設(shè)備

工藝機(jī)臺設(shè)備本身對振動和剛性需求較高，采用高剛性RC結(jié)構(gòu)達(dá)到最佳隔振效果，RC基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹脂進(jìn)行處理，光潔度滿足潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，抗壓強(qiáng)度達(dá)到50MPa以上。