應(yīng)用于PH、MET等區(qū)域工藝機(jī)臺(tái)設(shè)備
工藝機(jī)臺(tái)設(shè)備本身對(duì)振動(dòng)和剛性需求較高,采用高剛性RC結(jié)構(gòu)達(dá)到最佳隔振效果,RC基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹脂進(jìn)行處理,光潔度滿足潔凈室標(biāo)準(zhǔn),抗壓強(qiáng)度達(dá)到50MPa以上。
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