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應(yīng)用于CMP、WET、DF、Track等區(qū)域工藝機臺設(shè)備

工藝機臺設(shè)備本身對振動和剛性無特殊需求，設(shè)備載荷700～1500 kg/m2，或設(shè)備腳位承重高于700kg/in2，高架地板無法承載重量，需要使用槽鋼或H型鋼做成鋼構(gòu)，上面鋪設(shè)鋼板來進行承重。